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激光混合氣

日期:2014-11-28 15:32:44

產品特點:

氣體激光器的重要特點之一,激光工作物質是混合氣或單一純氣體。  混合氣中組分氣的純度直接影響激光的性能,特別是氣體中氧、水、碳氫化合物等雜質的存在將導致激光輸出功率在鏡(麵)和電極上的耗損,還會引起激光發射的不穩定。因此,對激光混合氣組分的純度有著特殊要求,包裝混合氣的鋼瓶,充裝前也必須進行幹燥處理,防止汙染混合氣。如果將氦(He)氖(Ne)激光作為第一代氣體激光,二氧化碳激光是第二代氣體激光,在半導體製造領域將大量使用的氟化氪(KrF)激光,可稱為第三代激光。

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